原文传递
直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法
| 专利名称： | 直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开一种直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法，采用 直热式叉指电极作为信号拾取和加热丝的碳纳米管气体传感器。直热式叉指 电极可以拾取敏感膜输出信号，拾取信号时采用电极并联结构。直热式叉指 电极可以作为加热丝，使加热电流流过每个指条形成串联回路，对其上的敏 感膜区域加热。直热式叉指电极工艺简单，无需专门设计加热层，直接加热 效果好，功耗低。直接加热敏感膜而无须通过加热衬底来提高敏感膜温度， 因而不要求衬底具有良好的导热性，适应于更多种类衬底材料。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安交通大学 |
| 发明人： | 李 昕;朱长纯;刘君华;刘卫华 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910022513.1 |
| 公开号： | CN101556257 |
| 代理机构： | 西安通大专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 陈翠兰 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I |
| 申请人地址： | 710049陕西省西安市咸宁路28号 |
| 主权项： | 1、一种直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，包括碳纳米管复合敏感膜、 叉指电极和传感器衬底，传感器衬底上设置叉指电极，叉指电极上设置气体 敏感膜，其特征在于，所述的气体敏感膜是碳纳米管复合薄膜(14)，所述的 叉指电极是直热式叉指电极(15，16，19)，所述的传感器衬底是传感器绝缘 衬底(17)，同边的直热式叉指电极(1～6或7～12)所有指条之间相互串联， 形成加热电流回路。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
