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一种法布里-珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统
| 专利名称： | 一种法布里-珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种法布里-珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统，它主要由光电 转换元件、基底、Fabry-Perot谐振腔固定反射镜、谐振腔内光源、样品室、 Fabry-Perot谐振腔动反射镜、谐振腔外光源、激励用上压电陶瓷、硅微悬臂梁、 激励用下压电陶瓷和探针组成。本发明的Fabry-Perot谐振腔共振发光悬臂梁 系统能够主动发射振动调制的变化谐振频率光；可以检测待测样品光谱成分以 及外界因素引起的悬臂梁挠曲、变形的能力。另外，还可应用于化学成分、分 子生物样品传感、检测，超精密机械表面轮廓测量，物理谱成份分析等多种技 术领域。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 中国计量学院 |
| 发明人： | 朱若谷;魏 涛 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-12-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810164110.6 |
| 公开号： | CN101556836 |
| 代理机构： | 杭州求是专利事务所有限公司 |
| 代理人： | 周 烽 |
| 分类号： | G12B21/22(2006.01)I |
| 申请人地址： | 310018浙江省杭州市下沙高教园区学源街 |
| 主权项： | 1.一种法布里-珀罗谐振腔共振发光悬臂梁系统，其特征在于，它主要由光电转 换元件、基底、Fabry-Perot谐振腔固定反射镜、谐振腔内光源、样品室、 Fabry-Perot谐振腔动反射镜、谐振腔外光源、激励用上压电陶瓷、硅微悬 臂梁、激励用下压电陶瓷和探针组成。所述激励用上压电陶瓷和激励用下压 电陶瓷均固定在硅微悬臂梁的固定端处。Fabry-Perot谐振腔固定反射镜位 于硅微悬臂梁的固定端处，Fabry-Perot谐振腔动反射镜位于硅微悬臂梁的 自由端处；Fabry-Perot谐振腔固定反射镜和Fabry-Perot谐振腔动反射镜 组成Fabry-Perot谐振腔，样品室置于Fabry-Perot谐振腔内。探针位于硅 微悬臂梁的自由端处。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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