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原文传递 用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法
专利名称: 用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法
摘要: 用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法,其特征在于采用 以下步骤:将P型掺硼硅片固定在电解池中,以乙醇和氢氟酸作为电 解液,以硅片为阳极,铂电极为阴极,在一定电流条件下进行电解刻 蚀;将刻蚀后的硅片在600℃下快速热氧化处理;在多孔硅片表面均 匀地涂覆羧甲基纤维素丙酮溶液,成膜后浸泡于酸碱敏感染料溶液 中,取出干燥后,制成所需的氨敏材料。本发明与现有技术比较,具 有如下突出的优点:1)多孔材料比表面积大,灵敏度高;2)工作温 度为常温;3)信号响应及恢复速度快;4)本氨敏材料的半峰宽度可 以控制在10nm以内,分辨率高;5)使用寿命为4年;6)体积小, 利于传感器的微型化,集成化。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 浙江大学
发明人: 邬建敏;商云岭
专利状态: 有效
申请日期: 2009-06-04T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200910099310.2
公开号: CN101566597
代理机构: 杭州之江专利事务所
代理人: 连寿金
分类号: G01N27/406(2006.01)I
申请人地址: 310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号
主权项: 1、一种用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法,其特征 在于采用以下步骤: A)、将P型掺硼硅片固定在电解池中,按体积比为1∶4~6的比 例加入乙醇和重量浓度为40%的氢氟酸作为电解液,以硅片为阳极, 铂电极为阴极,进行电解刻蚀,设定电流强度波动范围为15~75mA, 每个波动周期为5秒,重复波动次数为30~75次,刻蚀后的硅片用 乙醇冲洗干净,再用氮气吹干; B)、将上述刻蚀后的硅片在600℃下快速热氧化处理1小时,形 成表面具有反射和光过滤性能的多孔硅片; C)、在多孔硅片表面均匀地涂覆重量浓度为5%的羧甲基纤维素 丙酮溶液,成膜后将多孔硅片浸泡于重量浓度为1~5mg/mL的酸碱敏 感染料溶液中,浸泡时间为5~30分钟,取出干燥后,制成所需的氨 敏材料;酸碱敏感染料采用溴酚蓝溶液、溴百里酚香兰溶液、溴甲酚 绿溶液、溴甲酚紫溶液、次甲基蓝溶液中的任意一种。
所属类别: 发明专利
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