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薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统及测试方法
| 专利名称： | 薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统及测试方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试 方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成，该系 统提供了对各种微/纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成 电路用金属化互连体箔材料以及各种二维薄板类材料进行动态弯曲疲劳性能测试 的功能和测试方法，同时可以对被测试样形貌进行原位的实时监测与分析记录。 利用通电线圈在恒定磁场中所受的电磁力驱动悬臂梁试样的自由端相对其平衡位 置做往复运动，从而对各类材料试样施加各种类型的循环疲劳载荷，且所施加疲 劳载荷的精度可以达到毫牛顿量级，本发明可对各类薄膜材料的疲劳性能及疲劳 裂纹扩展行为进行评价。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 中国科学院金属研究所 |
| 发明人： | 张广平;朱晓飞;张 滨 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-04-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810011238.9 |
| 公开号： | CN101571467 |
| 代理机构： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 张志伟 |
| 分类号： | G01N3/38(2006.01)I |
| 申请人地址： | 110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 |
| 主权项： | 1、一种薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统，其特征在于，该测试系统由以 下三部分组成： (1)电磁驱动部分：由电源、永久磁铁、支撑弹簧、线圈和驱动杆组成，电 源与线圈电连接，线圈内侧设置永久磁铁，电源产生的交流信号通入线圈，线圈 在永久磁铁所产生的磁场中受到周期性的循环作用力，支撑弹簧的一端固定在基 架上，另一端与线圈相连，线圈在循环力的作用下拉、压支撑弹簧，同时带动与 线圈相连的驱动杆做往复运动，从而对一端固定、另一端搭载到驱动杆上的悬臂 梁试样施加循环弯曲疲劳载荷，驱动杆的上端预先加工成能够适应不同种类薄膜 试样尺寸的凹槽； (2)试样夹持部分：由基架和夹持在其上可自由调节的夹具组成，被测试样 的一端固定在水平及高度方向可自由调节的夹具上，夹具固定在基架上，试样呈 悬臂梁状态，试样的自由端卡入预先加工好的驱动杆上不同规格尺寸的凹槽中； (3)测量与观察部分：由计算机、与之相连的激光位移传感器和光学显微镜 组成，激光位移传感器监测被测试样自由端在测试过程中所发生的位移，并将信 号传递给计算机进行记录，与计算机相连的光学显微镜对试样表面形貌进行实时 观察与摄录像。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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