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光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置及其测试方法
| 专利名称： | 光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置及其测试方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置，其特点是该传感器装置 由激光器(1)引出的激光经偏振器(2)通过透镜(3)光纤(4)将聚焦的偏振光传入气 体盒(13)内，输入耦合元件(12)上实现光纤与波导耦合，耦合后的光进入马赫-曾德 波导干涉仪(14)，然后由分支波导(5、19)分别与参考臂波导(15)和信号臂波导(6) 并联连接，通过模场匹配确定两波导端面尺寸，以减少耦合损失，提高耦合效率，波导相 位调制器(16)为集总型波导相位调制器结构，设在参考臂波导和信号臂波导之间，经马 赫-曾德波导干涉仪干涉后的光由输出耦合元件(18)耦合出气体盒，进入光电信号转换 及处理系统，由光纤经透镜(7)和检偏器(8)导入光电二极管(9)，将光强转化为电 信号输入微信号处理器(10)，经运算得到待测的硫化氢气体的浓度值。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 西南石油大学 |
| 发明人： | 唐东林;梁 政 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910059513.9 |
| 公开号： | CN101576488 |
| 代理机构： | 成都科海专利事务有限责任公司 |
| 代理人： | 邓继轩 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01)I |
| 申请人地址： | 610500四川省成都市新都区新都大道8号 |
| 主权项： | 1、光电混合集成硫化氢气体浓度传感器装置，其特征在于该传感器装置由激光器(1) 引出的激光经编振器(2)通过透镜(3)光纤(4)将聚焦的偏振光传入气体盒(13)内， 输入耦合元件(12)上实现光纤与波导耦合，耦合后的光进入马赫-曾德波导干涉仪(14)， 然后由分支波导(5、19)分别与参考臂波导(15)和信号臂波导(6)并联连接，通过模 场匹配确定两波导端面尺寸，以减少耦合损失，提高耦合效率，波导相位调制器(16)为 集总型波导相位调制器结构，设在参考臂波导和信号臂波导之间，经马赫-曾德波导干涉 仪干涉后的光由输出耦合元件(18)耦合出气体盒，进入光电信号转换及处理系统，由光 纤经透镜(7)和检偏器(8)导入光电二极管(9)，将光强转化为电信号输入微信号处 理器(10)，经运算得到待测的硫化氢气体的浓度值。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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