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原文传递表面声波感测器的制作方法

专利名称：	表面声波感测器的制作方法
摘要：	一表面声波感测器制作方法，包括以下步骤：在一压电基材表面镀一感测材料层；采用纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案；在镀该感测材料层的步骤之前或在该感测材料层表面制作预定图案之后，在压电基板表面的位于该感测材料层的相对两侧形成输入叉指电极和输出叉指电极，得到一表面声波感测器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
发明人：	周代栩
专利状态：	有效
申请日期：	2008-05-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810301711.7
公开号：	CN101587099
分类号：	G01N29/34(2006.01)I
申请人地址：	518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
主权项：	1.一表面声波感测器制作方法，包括以下步骤：在一压电基材表面镀一感测材料层；采用纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案；在镀该感测材料层的步骤之前或在该感测材料层表面制作预定图案之后，在压电基板表面的位于该感测材料层的相对两侧形成输入叉指电极和输出叉指电极，得到一表面声波感测器。
所属类别：	发明专利