原文传递
一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器
| 专利名称： | 一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器，包括一个硅基 板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述富集区包括悬空膜片、 薄膜加热器和吸附薄膜，所述悬空膜片设置在硅基板上，所述薄膜加热器和吸 附薄膜设置在悬空膜片表面上，所述顶盖设置有进气口和出气口，在悬空膜片 和顶盖之间形成气流通道，其特征在于，所述悬空膜片采用聚酰亚胺薄膜，且 不设穿孔，气流通道中的气流沿其表面流动。由于聚酰亚胺薄膜具有良好的韧 性，因此聚酰亚胺膜片的尺寸可以远远大于无机刚性材料如SiN、SiO |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 电子科技大学 |
| 发明人： | 杜晓松;蒋亚东;夏乐洋;肖 华 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-07-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910059985.4 |
| 公开号： | CN101603956 |
| 分类号： | G01N30/08(2006.01)I |
| 申请人地址： | 610054四川省成都市建设北路二段四号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
