专利名称: | 一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器 |
摘要: | 本发明公开了一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器,包括一个硅基 板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区,所述富集区包括悬空膜片、 薄膜加热器和吸附薄膜,所述悬空膜片设置在硅基板上,所述薄膜加热器和吸 附薄膜设置在悬空膜片表面上,所述顶盖设置有进气口和出气口,在悬空膜片 和顶盖之间形成气流通道,其特征在于,所述悬空膜片采用聚酰亚胺薄膜,且 不设穿孔,气流通道中的气流沿其表面流动。由于聚酰亚胺薄膜具有良好的韧 性,因此聚酰亚胺膜片的尺寸可以远远大于无机刚性材料如SiN、SiO |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 四川;51 |
申请人: | 电子科技大学 |
发明人: | 杜晓松;蒋亚东;夏乐洋;肖 华 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-07-14T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200910059985.4 |
公开号: | CN101603956 |
分类号: | G01N30/08(2006.01)I |
申请人地址: | 610054四川省成都市建设北路二段四号 |
所属类别: | 发明专利 |