专利名称: | 检测传感器、振子 |
摘要: | 本发明的目的是提供能够实现高灵敏度化的检测传感器和振子。采 用不在振子(30)表面上设置压电层或驱动电极等、由与振子(30)分 开设置的致动器(40)来驱动振子(30)的方式。致动器(40)为悬臂 状,设于振子(30)的固定端(30a)附近。而且,经由连接梁(70)将 致动器(40)的振动传递到振子(30)。由此,可抑制压电层或驱动电极 等对振子(30)振动的妨碍,从而能够提高振子(30)的Q值,能够使 检测传感器(10)成为更高灵敏度的检测传感器。并且,如果是同等的 灵敏度,则能够实现大大小于现有检测传感器的小型检测传感器(10)。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 独立行政法人产业技术综合研究所;奥林巴斯株式会社 |
发明人: | 鲁 健;池原毅;三原孝士 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-03-03T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200880005713.X |
公开号: | CN101617208 |
代理机构: | 北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人: | 黄纶伟 |
分类号: | G01N5/02(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京 |
主权项: | 1.一种检测传感器,其特征在于,该检测传感器具有: 振子,其为一端部或两端部固定的梁状,并且振动特性根据具有质 量的物质的附着或吸附而发生变化; 致动器,其设于所述振子附近,按照所设定的振动特性进行振动; 连接部件,其连接所述致动器和所述振子,并通过将所述致动器的 振动传递到所述振子来使所述振子振动;以及 检测部,其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质。 |
所属类别: | 发明专利 |