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原文传递检测传感器、振子

专利名称：	检测传感器、振子
摘要：	本发明的目的是提供能够实现高灵敏度化的检测传感器和振子。采用不在振子(30)表面上设置压电层或驱动电极等、由与振子(30)分开设置的致动器(40)来驱动振子(30)的方式。致动器(40)为悬臂状，设于振子(30)的固定端(30a)附近。而且，经由连接梁(70)将致动器(40)的振动传递到振子(30)。由此，可抑制压电层或驱动电极等对振子(30)振动的妨碍，从而能够提高振子(30)的Q值，能够使检测传感器(10)成为更高灵敏度的检测传感器。并且，如果是同等的灵敏度，则能够实现大大小于现有检测传感器的小型检测传感器(10)。
专利类型：	发明专利
申请人：	独立行政法人产业技术综合研究所;奥林巴斯株式会社
发明人：	鲁健;池原毅;三原孝士
专利状态：	有效
申请日期：	2008-03-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880005713.X
公开号：	CN101617208
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	黄纶伟
分类号：	G01N5/02(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
主权项：	1.一种检测传感器，其特征在于，该检测传感器具有：振子，其为一端部或两端部固定的梁状，并且振动特性根据具有质量的物质的附着或吸附而发生变化；致动器，其设于所述振子附近，按照所设定的振动特性进行振动；连接部件，其连接所述致动器和所述振子，并通过将所述致动器的振动传递到所述振子来使所述振子振动；以及检测部，其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质。
所属类别：	发明专利