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针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置
| 专利名称： | 针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置 |
| 摘要： | 一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，由分立的激光光源 模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器和准 直透镜，所述扫描模块包括z扫描器、xy扫描器、小孔光阑、物镜和微 悬臂探针，所述的z扫描器和xy扫描器构成扫描器，所述小孔光阑位于 所述的z扫描器的顶端中心，所述物镜固定在所述的z扫描器的底端中 央，所述微悬臂探针通过连接件固定在所述的z扫描器的底端，而且所 述的微悬臂探针的针尖之背的一固定点位于所述物镜的焦点；所述探测 模块包括成像透镜、光电探测器及其三维位置调整件构成，所述成像透 镜位于所述的微悬臂探针的针尖之背的反射光路上，所述的光电探测器 置于所述成像透镜的像方焦平面上。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 发明人： | 储 敏;徐文东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-11-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200820155744.0 |
| 公开号： | CN201322712 |
| 代理机构： | 上海新天专利代理有限公司 |
| 代理人： | 张泽纯 |
| 分类号： | G01N13/16(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201800上海市800-211邮政信箱 |
| 主权项： | 1、一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，其特征是该装置 由分立的激光光源模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模 块包括激光器(1)和准直透镜(2)，所述的扫描模块包括z扫描器(4)、 xy扫描器(5)、小孔光阑(3)、物镜(6)和微悬臂探针(8)，所述的z 扫描器(4)和xy扫描器(5)构成扫描器，所述的小孔光阑(3)位于 所述的z扫描器(4)的顶端中心，所述的物镜(6)固定在所述的z扫 描器(5)的底端中间，所述的微悬臂探针(8)通过连接件(7)固定在 所述的z扫描器(5)的底端，所述的微悬臂探针(8)的针尖之背面的 一固定点位于所述物镜(6)的焦点；所述的探测模块包括成像透镜(9)、 光电探测器(10)及其三维位置调整件，所述的成像透镜(9)位于所述 的微悬臂探针(8)的针尖之背的反射光路上，所述的光电探测器(10) 置于所述的成像透镜(9)的像方焦平面上。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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