专利名称: | 气体湿度测量装置 |
摘要: | 本实用新型提供了一种气体湿度测量装置,所述气体湿度测量装置包括过 滤器和湿度传感器,所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中,所述湿度传感器与 所述过滤器通过连接件连接,所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接或者 一体成型,所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型,所述过滤器 与连接件通过螺纹连接,所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。与 现有气体湿度测量装置相比,本实用新型提供的气体湿度测量装置通过将待测 气体引入至该气体湿度测量装置的过滤器中进行过滤再进行测量,气体的温度 和压强变化幅度小,可以直接在第一时间进行测量,从而更能精确稳定测量出 气体的湿度信息,而且结构简单,方便安装和拆卸。 |
专利类型: | 实用新型专利 |
国家地区组织代码: | 上海;31 |
申请人: | 上海微电子装备有限公司 |
发明人: | 于文忠;张孝松;王 飞;陈勇辉;金 敏 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-12-30T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200820158341.1 |
公开号: | CN201344924 |
代理机构: | 上海思微知识产权代理事务所 |
代理人: | 屈 蘅;李时云 |
分类号: | G01N33/00(2006.01)I |
申请人地址: | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |
主权项: | 1.一种气体湿度测量装置,其特征在于:所述气体湿度测量装置包括过 滤器和湿度传感器,所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中。 |
所属类别: | 实用新型 |