专利名称: | 一种硅片切割机 |
摘要: | 本实用新型提供了一种硅片切割机。其针对不同的加工件,不需要频繁更 换部件,且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以及合格率。 其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置,其特征在于: 收放线结构包括卷绕电机和放线电机,所述卷绕电机和放线电机分别对应连接 卷绕轮和放线轮,所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行 布置的两个导轮后再绕调整轮,接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷 绕轮;所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连接结构、气缸和顶杆装置; 硅片切割液的冷却装置包括壳体,所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔 以及换热腔,位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道,所述冷却管道将 所述切割液出液腔和进液腔连通。 |
专利类型: | 实用新型专利 |
国家地区组织代码: | 江苏;32 |
申请人: | 无锡开源太阳能设备科技有限公司 |
发明人: | 陈世强;张宏兵;吕洪明 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-03-09T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200920036244.X |
公开号: | CN201361950 |
代理机构: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) |
代理人: | 顾吉云 |
分类号: | B28D5/04(2006.01)I |
申请人地址: | 214072江苏省无锡市蠡园开发区A幢七层南侧 |
主权项: | 1、一种硅片切割机,其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液 的冷却装置,其特征在于:收放线结构包括卷绕电机和放线电机,所述卷绕电 机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮,所述放线轮上的钢丝线依次绕过 升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮,接着沿另一轮组以 及另一升降轮后绕于所述卷绕轮;所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连 接结构、气缸和顶杆装置,所述气缸安装于所述安装架上部,所述顶杆装置安 装于所述安装架的导向孔内,所述气缸的导杆与所述顶杆装置连接,所述顶杆 装置与所述工件连接结构连接;硅片切割液的冷却装置包括壳体,所述壳体内 部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔,所述换热腔上端、下端分别开有 冷却液进液口和出液口,所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、 下端,位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道,所述冷却管道将所述切 割液出液腔和进液腔连通。 |
所属类别: | 实用新型 |