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用于微钻的扫描电镜检测的固定装置
| 专利名称： | 用于微钻的扫描电镜检测的固定装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其包括 承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯 通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内 的方向提供紧固力的固定件。由于要对微钻的钻尖部分进行检测，就必须 保持钻头垂直于样品台，如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损 形貌特征，而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的，而且样品仓 的载重也是有限的，现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的 供夹持微钻的固定装置。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 发明人： | 杨 凡;付连宇;王成勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-02-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200920130029.6 |
| 公开号： | CN201368824 |
| 代理机构： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 邢 涛 |
| 分类号： | G01N1/36(2006.01)I |
| 申请人地址： | 518116广东省深圳市龙岗区高新技术产业园 |
| 主权项： | 1、一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其特征在于，包括由导 电材料制成的承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面 的、向上方贯通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧 的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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