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原文传递掩模版库机构

专利名称：	掩模版库机构
摘要：	本实用新型提供了一种掩模版库机构，包括摩擦阻力小，动作灵活、安全性能好的锁定和解锁机构，以及能够实现掩模版盒平稳可靠和高精度升降的升降机构，其中锁定和解锁机构把一个电机的旋转运动转化成，每两个一组的四个锁销进行相反方向的平移；而升降机构的外力垂直作用于滚珠丝杠的中心轴线上，运动稳定可靠，能保证遮模版托板在垂直方向任意位置暂停时所需的制动力；另外，由于在升降溜板和竖向导轨座之间设置了防尘盖板，故能够防止运动部件产生的颗粒污染物对掩模版盒的污染。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
发明人：	马喜宝;李志龙
专利状态：	有效
申请日期：	2008-12-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200820156899.6
公开号：	CN201327564
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所
代理人：	屈蘅;李时云
分类号：	G03F7/20(2006.01)I
申请人地址：	201203上海市张江高科技园区张东路1525号
主权项：	1、一种掩模版库机构，包括锁定和解锁机构以及位于其下方的升降机构，其特征在于：所述锁定和解锁机构包括第一驱动组件和滑块机构，所述第一驱动组件驱动所述滑块机构作直线往复运动；所述升降机构包括第二驱动组件及导轨组件，所述第二驱动组件驱动掩模版盒沿导轨组件作直线往复运动。
所属类别：	实用新型