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原文传递工件载盘

专利名称：	工件载盘
摘要：	本实用新型公开了一种工件载盘，包括有：载盘主体，为一框体，其具有相互平行设置的框边以及均布于所述框边内缘的多个通孔；多个复位元件，其具有一固定块体以及一与该固定块体连结的可动块体，所述固定块体设置于所述框边上；多个防镀遮片，其一侧边固定于所述复位元件的可动块体，并位于所述载盘主体的框边内缘的通孔上方的位置；通过上述结构，该工件载盘适用于溅镀工序中，并通过使用防镀遮片遮蔽工件不需要溅镀的部位，而改善常用工件载盘无法防镀的缺陷。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	台湾;TW
申请人：	钰衡科技股份有限公司
发明人：	洪婉玲;郭勋聪
专利状态：	有效
申请日期：	2009-01-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200920001251.6
公开号：	CN201362740
代理机构：	北京德琦知识产权代理有限公司
代理人：	王一斌;王琦
分类号：	C23C14/00(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾台南县安定乡中沙村沙仑39-5号
主权项：	1、一种工件载盘，其特征在于，该工件载盘包括有：载盘主体，为一框体，其具有相互平行设置的框边以及均布于所述框边内缘的通孔；多个复位元件，其具有一固定块体以及一可枢转地连结于该固定块体的可动块体，所述固定块体设置于所述框边上；多个防镀遮片，其一侧边固定于所述复位元件的可动块体，并位于所述载盘主体的框边内缘的通孔上方的位置。
所属类别：	实用新型