专利名称: |
硅片自动装片机 |
摘要: |
本实用新型涉及一种硅片自动装片机,按照本实用新型提供的技术方案,
所述硅片自动装片机,包括水箱与花篮盒,在水箱侧壁通过固定导轨横档架
设有导轨,小车的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板,在导轨上通过滚轮
滚动连接有装片小车,在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒,在水箱上
通过支承滑片槽装置设置有滑片槽,滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上
滑动的花篮盒,在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。本实
用新型具有装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率与提
高生产效率等优点。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
无锡市南亚科技有限公司 |
发明人: |
顾 韻;储 敏;王江华 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-12-19T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200820214482.0 |
公开号: |
CN201336302 |
代理机构: |
无锡市大为专利商标事务所 |
代理人: |
殷红梅 |
分类号: |
H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: |
214026江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区92号 |
主权项: |
1、一种硅片自动装片机,包括水箱(4)与花篮盒(8),其特征是:在
水箱(4)侧壁通过固定导轨横档(20)设有导轨(5),小车(9)的顶端部
设有与丝杠传动的连接板(6),在导轨(5)上通过滚轮(19)滚动连接有装
片小车(9),在装片小车(9)上通过固定螺钉(17)固设有花篮盒(8),在
水箱(4)上通过支承滑片槽装置(11)设置有滑片槽(12),滑片槽(12)
的出料端向下倾斜并指向导轨(5)上移动的花篮盒(8),在滑片槽(12)的
进料端通过出水接头(13)连接有滑片槽进水管(18)。 |
所属类别: |
实用新型 |