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原文传递 硅片自动装片机
专利名称: 硅片自动装片机
摘要: 本实用新型涉及一种硅片自动装片机,按照本实用新型提供的技术方案, 所述硅片自动装片机,包括水箱与花篮盒,在水箱侧壁通过固定导轨横档架 设有导轨,小车的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板,在导轨上通过滚轮 滚动连接有装片小车,在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒,在水箱上 通过支承滑片槽装置设置有滑片槽,滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上 滑动的花篮盒,在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。本实 用新型具有装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率与提 高生产效率等优点。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 无锡市南亚科技有限公司
发明人: 顾 韻;储 敏;王江华
专利状态: 有效
申请日期: 2008-12-19T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200820214482.0
公开号: CN201336302
代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
代理人: 殷红梅
分类号: H01L21/677(2006.01)I
申请人地址: 214026江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区92号
主权项: 1、一种硅片自动装片机,包括水箱(4)与花篮盒(8),其特征是:在 水箱(4)侧壁通过固定导轨横档(20)设有导轨(5),小车(9)的顶端部 设有与丝杠传动的连接板(6),在导轨(5)上通过滚轮(19)滚动连接有装 片小车(9),在装片小车(9)上通过固定螺钉(17)固设有花篮盒(8),在 水箱(4)上通过支承滑片槽装置(11)设置有滑片槽(12),滑片槽(12) 的出料端向下倾斜并指向导轨(5)上移动的花篮盒(8),在滑片槽(12)的 进料端通过出水接头(13)连接有滑片槽进水管(18)。
所属类别: 实用新型
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