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原文传递振动传感器

专利名称：	振动传感器
摘要：	一种振动传感器或将该振动传感器作为状态检测装置使用的导向装置。该振动传感器备有基板(5)、形成电容器的圆盘形振动板(3) 及保持该振动板且能使其相对于基板平行移动的保持装置(2)、 (4)、(6)，在振动板上设置多个弹性位移部(3c)和多个开口部(3 d)。当振动加到该振动传感器上时，振动板的振动部振动，基板和振动板之间形成的静电电容随振动而变化，为用该变化检测振动，设置了弹性位移部，使振动板不随声压振动，所以不会因声压而干扰振动检测输出。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	索尼公司
发明人：	中川芳守;岸上纯
专利状态：	有效
申请日期：	1995-06-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN95190573.2
公开号：	CN1090319
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	傅康;王忠忠
分类号：	G01H11/06
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种振动传感器，包括：一个基板；一个圆盘形振动板，该振动板由一个振动部、一个支承部和多个弹性位移部整体形成，其中所述位移部在所述振动部与所述支承部之间围绕所述振动部的周边等间距径向延伸，从而可以使振动部相对于所述基板移动，所述振动板与所述基板间隔预定的间距，形成一个电容器；和保持装置，供夹持所述基板和夹持间隔预定间距的振动板的支承部，其中振动使所述振动板与所述基板之间的静电电容变化；其中，所述保持装置是个供容纳所述基板和所述振动板和夹持所述基板和所述振动板的所述支承部的；且所述保持装
学科领域：	CGCG08
所属类别：	发明专利