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原文传递无尘输送系统

专利名称：	无尘输送系统
摘要：	本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社IHI
发明人：	平田贤辅;和田芳幸;田中刈入;村山晋
专利状态：	有效
申请日期：	2008-08-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880105255.7
公开号：	CN101796625A
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：	张敬强
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	一种输送系统，用于设置在地板面上来输送对象物，其特征在于，具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
所属类别：	发明专利