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原文传递可动元件和处理台

专利名称：	可动元件和处理台
摘要：	一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	井上祐也;田中寿人;谷藤保
专利状态：	有效
申请日期：	2008-11-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880109962.3
公开号：	CN101815659A
代理机构：	北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：	齐葵;王诚华
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
主权项：	一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。
所属类别：	发明专利