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原文传递 磁控与脉冲激光共溅射方法制备YBa2Cu3O7-δ超导复合薄膜的研究
论文题名: 磁控与脉冲激光共溅射方法制备YBa2Cu3O7-δ超导复合薄膜的研究
关键词: 磁控;脉冲激光;共溅射;法制备;超导
作者: 代秀红
专业: 微电子学与固体电子学
导师: 赵红东;刘保亭
授予学位: 博士
授予学位单位: 河北工业大学
学位年度: 2017
正文语种: 中文
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