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磁控与脉冲激光共溅射方法制备YBa2Cu3O7-δ超导复合薄膜的研究
论文题名:
磁控与脉冲激光共溅射方法制备YBa2Cu3O7-δ超导复合薄膜的研究
关键词:
磁控;脉冲激光;共溅射;法制备;超导
作者:
代秀红
专业:
微电子学与固体电子学
导师:
赵红东;刘保亭
授予学位:
博士
授予学位单位:
河北工业大学
学位年度:
2017
正文语种:
中文
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