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原文传递 共溅射法制备Sn掺杂WO3薄膜的气敏性能研究
论文题名: 共溅射法制备Sn掺杂WO3薄膜的气敏性能研究
关键词: 共溅射;法制备;掺杂;WO3薄膜;气敏
作者: 张学忠
专业: 凝聚态物理
导师: 杨晓红
授予学位: 硕士
授予学位单位: 重庆师范大学
学位年度: 2012
正文语种: 中文
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