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Zn、Ti和Zn、Sn共溅射膜的制备及气敏性研究
| 论文题名： | Zn、Ti和Zn、Sn共溅射膜的制备及气敏性研究 |
| 关键词： | 共溅射;膜的制备 |
| 作者： | 闫勇彦 |
| 专业： | 理论物理 |
| 导师： | 马勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 重庆师范大学 |
| 学位年度： | 2009 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | Zn、Ti和Zn、Sn共溅射膜的制备及气敏性研究 |
| 关键词： | 共溅射;膜的制备 |
| 作者： | 闫勇彦 |
| 专业： | 理论物理 |
| 导师： | 马勇 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 重庆师范大学 |
| 学位年度： | 2009 |
| 正文语种： | 中文 |