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原文传递圆筒磨削装置及磨削方法

专利名称：	圆筒磨削装置及磨削方法
摘要：	一种圆筒磨削装置，用于磨削圆柱状晶棒的侧面，其特征在于：具备定心机构，其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成，使前述滚轮相对于前述晶棒从水平方向作进退移动而可作压接动作，并且，先将前述圆柱状晶棒直立置放在平台上，接着将前述已直立置放的晶棒，从前述平台移载至夹具上，然后利用一对夹具将前述晶棒两侧的端面保持在垂直方向，接着一边利用旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转，一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动，而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面，由此，使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致，之后利用研磨轮来磨削前述晶棒。由此，提供一种能提高晶棒的磨削加工效率的圆筒磨削装置及磨削方法。
专利类型：	发明专利
申请人：	信越半导体股份有限公司
发明人：	西野英彦;平野好宏
专利状态：	有效
申请日期：	2009-01-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200980104773.1
公开号：	CN101945732A
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司 72003
代理人：	郭晓东;马少东
分类号：	B24B41/06(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	一种圆筒磨削装置，用于磨削圆柱状晶棒的侧面，其特征在于：至少具备：平台，其用以将前述圆柱状晶棒直立置放；一对夹具，其从垂直方向来保持前述晶棒两侧的端面；旋转机构，其用于驱动前述晶棒来使其绕轴旋转；及研磨轮，其可在前述旋转机构的旋转轴向移动；并且，具备定心机构，其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成，使前述滚轮相对于前述晶棒，从水平方向作进退移动，而可作压接动作，并且，先将前述圆柱状晶棒直立置放在前述平台上，接着将前述已直立置放的晶棒，从前述平台移载至前述夹具上，然后利用前述一对夹具，将前述晶棒两侧的端面，保持在垂直方向，接着一边利用前述旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转，一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动，而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面，由此，使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致，之后，利用前述研磨轮来磨削前述晶棒。
所属类别：	发明专利