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具有设计用于高压操作的操作参数和几何形状的电离计
| 专利名称： | 具有设计用于高压操作的操作参数和几何形状的电离计 |
| 摘要： | 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 布鲁克机械公司 |
| 发明人： | 葛拉多·A··布鲁克尔 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-02-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980112555.2 |
| 公开号： | CN101990630A |
| 代理机构： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
| 代理人： | 许静 |
| 分类号： | G01L21/32(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国马萨诸塞州 |
| 主权项： | 一种用以测量压力的电离计，其包含：至少一个电子源，其产生电子；集极电极，其收集由所述电子与气体分子之间的冲击形成的离子；以及阳极，其经配置以基于预定压力相对于所述集极电极的偏置电压来切换偏置电压。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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