原文传递
一种制备具有微反应池的生物芯片的方法
| 专利名称： | 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法，该方法包括：清洗衬底；制备掩膜板，在掩膜板上制备微反应池图形；涂光刻胶；光刻、显影、去胶；刻蚀衬底；芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法，工艺成熟，制作成本低，采用一块掩膜板模板就可以批量制作，可重复性好，适合于规模商品化生产，制作出的生物芯片微反应池孔径均匀，芯片表面可以再修饰。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 发明人： | 李运涛;俞海龙;徐海华;俞育德;余金中 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-08-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910091401.1 |
| 公开号： | CN101993950A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 周国城 |
| 分类号： | C12Q1/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |
| 主权项： | 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法，其特征在于，该方法包括：清洗衬底；制备掩膜板，在掩膜板上制备微反应池图形；涂光刻胶；光刻、显影、去胶；刻蚀衬底；芯片表面处理。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
