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一种线切割工艺中砂浆的回收方法
| 专利名称： | 一种线切割工艺中砂浆的回收方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种物料的回收方法，特别涉及一种线切割工艺中砂浆的回收方法。该线切割工艺中砂浆的回收方法，其特征是：包括如下步骤：旧砂浆通过物理旋流分离器分为固体流A和液体流B；固体流A通过分离装置分为轻滤渣C和重滤渣D，将重滤渣D过滤得到滤渣E，将滤渣E中加入酸溶液而后加水清洗，分离得到固体颗粒F；将固体颗粒F中加入氢氧化钠水溶液反应而后加水清洗，分离出固体颗粒烘干得到碳化硅；将碳化硅与液体流B搅拌均匀后回到线切割机上使用。因此，本发明的有益效果是，利用离心分离和化学清洗，将废砂浆中的杂质清除得到合格的碳化硅和切割液重新使用，很大程度地降低了硅片加工的成本，也避免了废砂浆对环境的污染。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 山东舜亦新能源有限公司 |
| 发明人： | 吴春林;应雪倡;章英杰;陈献领;王丽萍 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-05-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010183120.1 |
| 公开号： | CN101954675A |
| 代理机构： | 济南泉城专利商标事务所 37218 |
| 代理人： | 张贵宾 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I |
| 申请人地址： | 274300 山东省菏泽市单县经济开发区 |
| 主权项： | 一种线切割工艺中砂浆的回收方法，其特征是：包括如下步骤：(1)使用过的旧砂浆通过循环管路输送到缓冲罐内，再通过物理旋流分离器将旧砂浆分为固体流A和液体流B；(2)固体流A通过滤渣分级分离装置分为轻滤渣C和重滤渣D，轻滤渣C为硅流和金属杂质，重滤渣D为碳化硅流和少量的硅及金属杂质，将重滤渣D过滤得到滤渣E和液体；(3)将滤渣E中加入酸溶液溶解残留的金属杂质，而后加水清洗至pH值为6.57.5时，分离得到固体颗粒F；(4)将固体颗粒F中加入质量分数为3％5％的氢氧化钠水溶液反应35小时，其中氢氧化钠水溶液和固体颗粒F的体积比为3.5∶14.5∶1，而后加水清洗至pH值为6.57.5，分离出固体颗粒后烘干得到碳化硅；(5)将步骤(4)回收的碳化硅与步骤(1)中分离出的液体流B搅拌均匀后输送到储存罐，用气动隔膜泵将砂浆通过循环管路输送到线切割机上使用，同时在循环管路末端增加了两道150目的过滤网，砂浆经过过滤后进入线切割机。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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