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表面固化处理装置及表面固化处理方法
| 专利名称： | 表面固化处理装置及表面固化处理方法 |
| 摘要： | 本发明提供表面固化处理装置及表面固化处理方法。表面固化处理装置具备：氢浓度检测单元4，其基于处理炉2内的炉内气体的热导率检测炉内气体的氢浓度；炉内气体组成演算单元24，其基于氢浓度检测单元4检测的氢浓度演算炉内气体的组成即炉内气体组成；和气体导入量控制单元26，其根据炉内气体组成演算单元24演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的合计导入量，以使炉内气体组成成为设定炉内气体混合比率，或者，分别控制两种以上的炉内导入气体的导入量以使炉内导入气体流量比率变化。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东方工程公司 |
| 发明人： | 河田一喜;木立彻;关谷庆之 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-06-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010205179.6 |
| 公开号： | CN101962744A |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
| 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 分类号： | C23C8/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 一种表面固化处理装置，其中，将两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，对配置于所述处理炉内的待处理品进行表面固化处理，所述两种以上的炉内导入气体包含在所述处理炉内产生氢的至少一种炉内导入气体，其特征在于，该装置具备：氢浓度检测单元，该氢浓度检测单元基于所述处理炉内的炉内气体的热导率，检测所述炉内气体的氢浓度；炉内气体组成演算单元，该炉内气体组成演算单元基于所述氢浓度检测单元检测的氢浓度，演算所述炉内气体的组成即炉内气体组成；和气体导入量控制单元，该气体导入量控制单元根据所述炉内气体组成演算单元演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将所述两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的合计导入量，以使所述炉内气体组成成为所述设定炉内气体混合比率，或者，分别控制所述两种以上的炉内导入气体的导入量以使所述炉内导入气体流量比率变化。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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