专利名称: |
自动坩埚搬运机构 |
摘要: |
本实用新型公开了一种自动坩埚搬运机构,用于自动拖运单晶炉内的石墨坩埚、石英坩埚以及石英坩埚里面所装的硅料。本机构主要包括以下功能部件,底部减速箱,减速箱里有转轴、齿轮传动副、减速电机,减速箱上面安装有转轴座,还有安装在转轴上的立柱;所述立柱上设有悬臂梁,及使悬臂梁上下运动的升降机构,悬臂梁的前端设有坩埚抓手部件、气动单元与锁紧单元,以及用于调节坩埚抓手横向位置的横向调节部件。本实用新型使得搬运硅料及坩埚实现全自动化,省时省力,大大提高了生产效率。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
申请人: |
上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司 |
发明人: |
赖章田;贺贤汉 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2010-06-25T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201020238632.9 |
公开号: |
CN201713598U |
分类号: |
C30B15/00(2006.01)I |
申请人地址: |
200444 上海市宝山城市工业园区山连路188号 |
主权项: |
自动坩埚搬运机构,其特征在于,包括用于抓起石英坩埚的坩埚抓手部件,设置在坩埚抓手部件上的锁紧单元以及气动单元,悬臂梁,安装在悬臂梁前端的横向调节部件,及使悬臂梁上下运动的升降机构,设置在升降传动机构侧部起导向作用的立柱,所述立柱底部连接有转轴座及减速箱,所述转轴座内设置转轴与减速箱内的齿轮传动副通过齿轮啮合传动,所述齿轮传动副通过传动轴连接减速电机。 |
所属类别: |
实用新型 |