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原文传递 OH自由基标准气体发生系统

专利名称：	OH自由基标准气体发生系统
摘要：	本发明公开了一种OH自由基标准气体发生系统，包括有合成空气源、与合成空气源连通的干燥净化器，合成空气为按一定比例混合的高纯氮和高纯氧，还包括有石英管，石英管中有低压汞灯，露点湿度计、O3分析仪通过管道分别接入石英管的出气口，一路输出合成气体的管路中间接入有质量流量计，另一路输出合成气体的管路中间依次接入有另一质量流量计、水蒸气发生器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	中国科学院安徽光学精密机械研究所
发明人：	司福祺;阚瑞峰;秦敏;谢品华;刘宇;胡仁志;刘文清
专利状态：	有效
申请日期：	2010-10-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010508526.2
公开号：	CN101995451A
代理机构：	安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人：	余成俊
分类号：	G01N33/00(2006.01)I
申请人地址：	230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号
主权项：	OH自由基标准气体发生系统，其特征在于：包括有合成空气源、与合成空气源连通的干燥净化器，所述合成空气源中的合成空气为按一定比例混合的高纯氮和高纯氧，所述合成气体经干燥净化器后通过两路管路输出，还包括有带进、出气口的石英管，所述石英管中安装有低压汞灯，有露点湿度计、O3分析仪通过管道分别接入石英管的出气口，所述输出合成气体的两路管路分别接至石英管进气口，其中一路管路中间接入有质量流量计，另一路管路中间依次接入有另一质量流量计、水蒸气发生器。
所属类别：	发明专利