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一种动态应变测量装置及测量方法
| 专利名称： | 一种动态应变测量装置及测量方法 |
| 摘要： | 本发明属于应变测量技术领域，涉及一种动态应变测量装置，包括柔性薄膜微波应变传感器、动态载荷测试仪和网络分析仪，其中，所述的柔性薄膜微波应变传感器为单晶硅型微波二极管薄膜；动态载荷测试仪用于向待测物体加载载荷；网络分析仪包括微波扫频信号输出端和接收输入端，输出端和输入端分别与所述柔性薄膜微波应变器的正极或负极相连，其内存储有反映应变与S参数之间关系的数据，测量时，网络分析仪根据实施获取的柔性薄膜微波应变传感器的S参数变化的数据，实现动态柔性应变的测量。本发明同时提供一种采用上述测量装置实现的测量方法。本发明精度较高，可以实现自校准功能，并能够测量高频动态应变。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 吕辰刚;秦国轩;张瑞峰;邹强;姬中凯;马建国 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-10-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010514862.8 |
| 公开号： | CN101968412A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 程毓英 |
| 分类号： | G01N3/08(2006.01)I |
| 申请人地址： | 300072 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 一种动态应变测量装置，包括柔性薄膜微波应变传感器、动态载荷测试仪和网络分析仪，其中，所述的柔性薄膜微波应变传感器，包括衬底、传感器主体以及正极和负极，所述的衬底包括塑料层和用于粘合PET塑料层和传感器主体的SU8材料层，所述的传感器主体为一层单晶硅薄膜，该层薄膜由P型掺杂区、未掺杂区、和N型掺杂区构成，未掺杂区位于P型掺杂区和N型掺杂区之间，形成PIN结，P型单晶硅区与正极相连，N型单晶硅区与负极相连，测量时，所述的柔性薄膜微波应变传感器被固定在待测物体上；所述的动态载荷测试仪用于向待测物体加载载荷；所述的网络分析仪包括微波扫频信号输出端和接收输入端，所述的输出端和输入端分别与所述柔性薄膜微波应变器的正极或负极相连，其内存储有反映应变与S参数之间关系的数据，测量时，网络分析仪根据实施获取的柔性薄膜微波应变传感器的S参数变化的数据，实现动态柔性应变的测量。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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