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原文传递卡匣搬送装置

专利名称：	卡匣搬送装置
摘要：	一种卡匣搬送装置，当将收纳基板的卡匣自架体内搬送到基板搬出作业部时，将该卡匣的基板出入用开口部加以关闭，从而，在搬送途中，也能够使卡匣内的环境气体保持良好。在升降运输器(15)上，在该升降运输器(15)上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座20，其特征在于：在升降运输器(15)上，在将卡匣移载用支撑座(20)水平出退移动自如地加以支撑的支撑部(转台16)设有盖体(22)，前述盖体(22)将在前述卡匣移载用支撑座(20)上被支撑而被移载到升降运输器(15)上的一定位置的卡匣(6)的基板出入用开口部(6a)加以关闭。
专利类型：	发明专利
申请人：	大福股份有限公司
发明人：	鸟本和宏
专利状态：	有效
申请日期：	2010-09-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010270335.7
公开号：	CN102009812A
代理机构：	北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：	陈小雯
分类号：	B65G1/04(2006.01)I
申请人地址：	日本大阪府
主权项：	一种卡匣搬送装置，在升降运输器上，在该升降运输器上的退入位置与进出到横向侧的进出位置之间，设有水平出退移动自如的卡匣移载用支撑座，该卡匣搬送装置的特征在于，在升降运输器上，在将卡匣移载用支撑座水平出退移动自如地加以支撑的支撑部设有盖体，前述盖体将在前述卡匣移载用支撑座上被支撑而被移载到升降运输器上的一定位置的卡匣的基板出入用开口部加以关闭。
所属类别：	发明专利