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低温沉积过程温度场数值模拟及实验研究
| 论文题名： | 低温沉积过程温度场数值模拟及实验研究 |
| 关键词： | 低温;沉积过程;温度场数值模拟 |
| 作者： | 杨磊鹏 |
| 专业： | 机械制造及其自动化 |
| 导师： | 李淑娟;刘永 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安理工大学 |
| 学位年度： | 2016 |
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| 论文题名： | 低温沉积过程温度场数值模拟及实验研究 |
| 关键词： | 低温;沉积过程;温度场数值模拟 |
| 作者： | 杨磊鹏 |
| 专业： | 机械制造及其自动化 |
| 导师： | 李淑娟;刘永 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 西安理工大学 |
| 学位年度： | 2016 |