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带静压头和恒温控制的MEMS压阻式压力传感器研究
| 论文题名： | 带静压头和恒温控制的MEMS压阻式压力传感器研究 |
| 关键词： | 静压头;恒温控制;MEMS |
| 作者： | 王银 |
| 专业： | 电子与通信工程 |
| 导师： | 张加宏;何野 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 南京信息工程大学 |
| 学位年度： | 2019 |
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| 论文题名： | 带静压头和恒温控制的MEMS压阻式压力传感器研究 |
| 关键词： | 静压头;恒温控制;MEMS |
| 作者： | 王银 |
| 专业： | 电子与通信工程 |
| 导师： | 张加宏;何野 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 南京信息工程大学 |
| 学位年度： | 2019 |