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原文传递 双谐振子硅微轴对称陀螺测控系统设计与实现
论文题名: 双谐振子硅微轴对称陀螺测控系统设计与实现
关键词: 谐振子;硅微;对称陀螺
作者: 陆铭洋
专业: 集成电路工程
导师: 徐大诚
授予学位: 硕士
授予学位单位: 苏州大学
学位年度: 2022
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