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双谐振子硅微轴对称陀螺测控系统设计与实现
论文题名:
双谐振子硅微轴对称陀螺测控系统设计与实现
关键词:
谐振子;硅微;对称陀螺
作者:
陆铭洋
专业:
集成电路工程
导师:
徐大诚
授予学位:
硕士
授予学位单位:
苏州大学
学位年度:
2022
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