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集成电路钽基阻挡层CMP的速率控制及其电化学特性研究
| 论文题名： | 集成电路钽基阻挡层CMP的速率控制及其电化学特性研究 |
| 关键词： | 集成电路;阻挡层;CMP;速率控制;电化学 |
| 作者： | 李灿 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 潘国峰 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2021 |
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| 论文题名： | 集成电路钽基阻挡层CMP的速率控制及其电化学特性研究 |
| 关键词： | 集成电路;阻挡层;CMP;速率控制;电化学 |
| 作者： | 李灿 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 潘国峰 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2021 |