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集成电路钴插塞阻挡层CMP去除速率选择性的研究
| 论文题名： | 集成电路钴插塞阻挡层CMP去除速率选择性的研究 |
| 关键词： | 集成电路;插塞;阻挡层;CMP;去除速率 |
| 作者： | 梁婷伟 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 王胜利 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2020 |
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| 论文题名： | 集成电路钴插塞阻挡层CMP去除速率选择性的研究 |
| 关键词： | 集成电路;插塞;阻挡层;CMP;去除速率 |
| 作者： | 梁婷伟 |
| 专业： | 集成电路工程 |
| 导师： | 王胜利 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2020 |