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集成电路钴插塞弱碱性化学机械平坦化材料与机理研究
| 论文题名： | 集成电路钴插塞弱碱性化学机械平坦化材料与机理研究 |
| 关键词： | 集成电路;插塞;弱碱性;化学机械平坦化;材料 |
| 作者： | 田骐源 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 王胜利 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 集成电路钴插塞弱碱性化学机械平坦化材料与机理研究 |
| 关键词： | 集成电路;插塞;弱碱性;化学机械平坦化;材料 |
| 作者： | 田骐源 |
| 专业： | 电子科学与技术 |
| 导师： | 王胜利 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 河北工业大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |