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与基片容器存储系统交接的集成系统
| 专利名称： | 与基片容器存储系统交接的集成系统 |
| 摘要： | 公开了一种存储系统，其包括处在比装载和卸载待处理基片的工具的高度高的高度的存储系统组件。存储系统本地存储一个或多个基片容器。存储系统组件包括多个存储架子，所述多个存储架子中的每个具有有着用于支承容器的架子特征的架子板。多个存储架子中的每个联接至链条以便水平移动，且每个还联接至导轨以向一个或多个位置引导。电机联接至驱动链轮以移动链条，使多个存储架子中的每个沿导轨一起移至所述一个或多个位置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 交叉自动控制公司 |
| 发明人： | A.C.伯诺拉;R.H.古尔德;M.克罗拉克 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-05-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201080031793.3 |
| 公开号： | CN102460675A |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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