专利名称: | 一种硅片承载盒及具有该硅片承载盒的上料装置 |
摘要: | 本发明涉及一种硅片承载盒及具有该硅片承载盒的上料装置,其中硅片承载盒包括底板和侧壁,所述侧壁包括若干垂直地连接在所述底板上并相互分离的挡板,所述挡板围成的空间的横截面形状与硅片的横截面形状相适应。克服现有的硅片承载盒和上料装置容易导致硅片损坏的缺点,提供一种减少硅片损坏的硅片承载盒和上料装置。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
发明人: | 蒋其铭 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2010-11-23T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201010574733.8 |
公开号: | CN102479734A |
分类号: | H01L21/67(2006.01)I |
申请人地址: | 214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号 |
主权项: | 一种硅片承载盒,包括底板和侧壁,其特征在于:所述侧壁包括若干垂直连接在所述底板上并相互分离的挡板,所述挡板围成的空间的横截面形状与所述硅片的形状相适应。 |
所属类别: | 发明专利 |