专利名称: | 用于输送晶片和/或太阳能电池的装置 |
摘要: | 本发明涉及一种用于输送晶片和/或太阳能电池的装置,有至少一个循环输送带用于将晶片从循环输送带的接收区域输送至存放区域。所述循环输送带具有多个吸气口,并且设有至少一个吸气装置,该吸气装置可在循环输送带或者说吸气口上施加负压。在循环输送带的接收区域中设置至少一个吸气元件,该吸气元件可吸附并可从下层抬起平放于设置在循环输送带下方的下层上的晶片。被吸气元件吸附的晶片随后基于施加于循环输送带的吸气口上的负压被吸附在循环输送带的下侧上并被运走。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 亨内克系统有限公司 |
发明人: | H·P·亨内克;H·F·奥登塔尔 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2010-05-28T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201080030394.5 |
公开号: | CN102498555A |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 德国曲尔皮希 |
所属类别: | 发明专利 |