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硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计
| 题名： | 硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 裘安萍 苏岩 |
| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 |
| 关键词： | 硅微振梁式 加速度传感器 微杠杆结构 放大倍数计算 有限元 支点刚度 |
| 摘要： | 论文提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现Ⅰ型支点形式的放大倍数略高于Ⅱ型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则. |
| 会议日期： | 200509 |
| 会议举办地点： | 昆明 |
| 会议名称： | 2005’全国船舶仪器仪表学术年会 |
| 母体文献： | 声学与电子工程 |
| 分类号： | TP212.17 TP202 |
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