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一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统
| 专利名称： | 一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中，被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动，仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描，并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测，本发明的系统结构简单，使用灵活，应用范围广泛。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人： | 程晓锋;王洪彬;徐旭;叶亚云;秦朗;苗心向;贺少勃;吕海兵;贺群;马志强;赵龙彪;袁晓东;郑万国 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110365740.1 |
| 公开号： | CN102507596A |
| 代理机构： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 |
| 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I |
| 申请人地址： | 621900 四川省绵阳市919信箱988-5分箱 |
| 主权项： | 一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统，其特征是：所述的检测系统含有激光器（1）、扩束器（2）、变焦透镜（3）、导向镜（4）、光电探头Ⅰ（71）、光电探头Ⅱ（72）以及计算机（8）和控制器（9）；其中，激光器（1）、扩束器（2）、变焦透镜（3）、导向镜（4）依次排列；激光器（1）、扩束器（2）、变焦透镜（3）、导向镜（4）、数个光电探头以及被监测的光学元件（5）之间的位置相对固定，光电探头设置在光学元件通光区域外；光电探头分别外接计算机（8）；控制器（9）与计算机（8）连接，控制器（9）同时还连 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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