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原文传递一种显微共焦拉曼光谱仪

专利名称：	一种显微共焦拉曼光谱仪
摘要：	本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪，该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪，其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点，同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔，并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪，可实现样品以及相应激光斑点的显微观测，将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院半导体研究所
发明人：	谭平恒;韩文鹏;张昕;鲁妍;罗师强
专利状态：	有效
申请日期：	2011-09-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110288486.X
公开号：	CN102507529A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：	周国城
分类号：	G01N21/65(2006.01)I
申请人地址：	100083 北京市海淀区清华东路甲35号
主权项：	一种显微共焦拉曼光谱仪，其特征在于，该光谱仪包括：激光器(LS)；反射镜(MR)，用于将激光器(LS)出射的激光反射到拉曼滤光片(EDG)；拉曼滤光片(EDG)，用于将反射镜(MR)反射来的激光反射到显微镜的显微物镜(OB)；显微物镜(OB)，用于将拉曼滤光片(EDG)反射来的激光汇聚到样品(SMP)上，并收集激光所激发样品(SMP)的拉曼和瑞利信号；样品监测光路，用于观察样品(SMP)的表面微结构以及激光在样品(SMP)上的聚焦情况；汇聚透镜(LN)，用于将经显微物镜(OB)收集后的拉曼信号聚焦到可调大
所属类别：	发明专利