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一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用
| 专利名称： | 一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用 |
| 摘要： | 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：制备多孔阳极氧化铝模板；沉积具有内应力的金属或介质双层薄膜；选择性地腐蚀多孔阳极氧化铝模板，从而形成管壁具有周期排列纳米孔洞结构的微米管。这种特殊结构的多孔金属/介质微米管具有多种重要应用前景。例如，可以卷曲特定材料得到微米尺度的氧化还原超级电容器；可以作为电化学生物分子传感器，将多孔金属/介质微米管浸入溶液中，通过测量其电化学性能变化探测溶液中特定的生物分子。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 复旦大学 |
| 发明人： | 刘照乾;黄高山;刘冉;梅永丰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110349873.X |
| 公开号： | CN102517558A |
| 代理机构： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 |
| 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 分类号： | C23C14/54(2006.01)I |
| 申请人地址： | 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |
| 主权项： | 一种多孔金属/介质微米管的制备方法，其特征在于具体步骤为：（1）以多孔阳极氧化铝作为模板，同时也作为牺牲层；（2）在模板上面沉积具有内应力的金属和介质双层薄膜；所述内应力来自于双层薄膜不同热膨胀系数及晶格失配；（3）选择性地除去氧化铝牺牲层，释放薄膜，使复制了多孔阳极氧化铝表面的双层薄膜卷成微米管状结构，其管壁呈多孔状，即得目标产物多孔金属/介质微米管；步骤（2）所述在模板上面沉积具有内应力的金属和介质双层薄膜，是在物理气相沉积过程中前后两次沉积相应的薄膜，以形成由于不同材料之间不同热膨胀系数及晶格失配造 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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