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原文传递液体存储装置

专利名称：	液体存储装置
摘要：	本发明公开了一种液体存储装置，涉及集成电路制造技术领域，该装置包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，其特征在于，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管路包括：差压式机械装置及储气罐，所述差压式机械装置一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，用于根据所述储气罐和储液罐之间的气压差大小自动连通或关断所述储气罐和储液罐之间的连接。本发明通过紧急进气管路的设计来代替液封槽，且紧急进气管路能够给储液罐中快速补充保护性气体，避免了储液罐中的化学液被破坏，还保证了化学液顺利地流出。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京七星华创电子股份有限公司
发明人：	何金群;裴立坤;吴仪;昝威
专利状态：	有效
申请日期：	2011-10-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110303518.9
公开号：	CN102502132A
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：	王莹
分类号：	B65D90/38(2006.01)I
申请人地址：	100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
主权项：	一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，其特征在于，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管路包括：差压式机械装置及储气罐，所述差压式机械装置一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，用于根据所述储气罐和储液罐之间的气压差自动连通或关断所述储气罐和储液罐之间的连接。
所属类别：	发明专利