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原文传递上部电极安装治具

专利名称：	上部电极安装治具
摘要：	本发明涉及一种电极安装治具，尤指一种用于干蚀刻机台的上部电极安装治具。所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。使用本安装治具，能够减少上部电极的安装时间，降低电极对位时因不慎碰撞而造成上电极的损坏现象，避免对位失误产生的残余材料堆积影响良率的问题。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	黄耀乐;林志明;张永涛;廖子毅
专利状态：	有效
申请日期：	2013-11-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201310563680.3
公开号：	CN104637851A
代理机构：	上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人：	曾耀先
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种上部电极安装治具，其特征在于：所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。
所属类别：	发明专利