原文传递
一种LTPS产品中制造缓冲层的方法
| 专利名称： | 一种LTPS产品中制造缓冲层的方法 |
| 摘要： | 本发明公开了在LTPS产品中制造缓冲层的方法，具体步骤包括：对基板进行加热，基板内部的碱金属离子被扩散至玻璃层表面；对基板进行酸洗，基板表面的碱金属离子被去除；在被加热和酸洗后的玻璃层上制造缓冲层，缓冲层为SiOx层。基于采用一层缓冲层的设计，该方案能够大大提升产能，节省气体，并且避免多层结构所产生的交叉污染，提升元件特性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 发明人： | 李原欣;许民庆 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2013-04-24T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201310145646.4 |
| 公开号： | CN104124133A |
| 代理机构： | 上海申新律师事务所 31272 |
| 代理人： | 竺路玲 |
| 分类号： | H01L21/02(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 |
| 主权项： | 一种LTPS产品中制造缓冲层的方法，所述LTPS产品包括基板和缓冲层，所述基板内部包括碱金属离子，其特征在于，包括以下步骤：对所述基板进行加热，使所述基板内部的所述碱金属离子被驱动扩散至所述基板的表面；对所述基板进行酸洗，以除去所述基板表面的所述碱金属离子；在所述基板上形成缓冲层。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
