详情

原文传递一种储藏柜及控制方法

专利名称：	一种储藏柜及控制方法
摘要：	本发明公开了一种储藏柜及控制方法，应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统，包括承托基片的承载平台，其中，还包括：压缩空气源，用以形成压缩空气；空气喷射装置，设置于所述承载平台上，并与所述压缩空气源连接，用于可控制的自所述承载平台的承托面，向上方喷射来自所述压缩空气源的压缩空气，以托起所述承载平台承托的基片，并使所述基片悬浮于所述承载平台上方。其技术方案的有益效果是：减少了基片发生触碰的机会；可避免基片被喷射的压缩空气托升得过高，造成压缩空气气流不稳定；可通过离子发生装置，消除承载平台、机械臂的承托部以及基片上的静电。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	杨东伦
专利状态：	有效
申请日期：	2014-02-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201410073158.1
公开号：	CN103824792A
代理机构：	上海申新律师事务所 31272
代理人：	吴俊
分类号：	H01L21/67(2006.01)I
申请人地址：	201506 上海市金山区工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种储藏柜，应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统，包括承托基片的承载平台，其特征在于，还包括：压缩空气源，用以形成压缩空气；空气喷射装置，设置于所述承载平台上，并与所述压缩空气源连接，用于可控制的自所述承载平台的承托面，向上方喷射来自所述压缩空气源的压缩空气，以托起所述承载平台承托的基片，并使所述基片悬浮于所述承载平台上方。
所属类别：	发明专利