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原文传递一种柔性电子器件的制备方法

专利名称：	一种柔性电子器件的制备方法
摘要：	本发明涉及显示器的制备方法，尤其涉及一种柔性电子器件的制备方法，主要通过在胶材和PI膜之间增加具有一定表面粗糙度的无机膜，以有效改善在制备PI膜及后续的工艺时，塑料基板的尺寸稳定性和柔性衬底的水/氧阻隔特性，进而提高产品的良率和使用寿命。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海和辉光电有限公司
发明人：	张其国;黄成沛;黄初旺
专利状态：	有效
申请日期：	2013-03-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201310073718.9
公开号：	CN103151306A
代理机构：	上海申新律师事务所 31272
代理人：	竺路玲
分类号：	H01L21/77(2006.01)I
申请人地址：	201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
主权项：	一种柔性电子器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：于一硬质衬底上制备一分离层，且所述分离层部分覆盖所述硬质衬底的上表面；沉积无机膜覆盖所述分离层的侧壁及其上表面，且所述无机膜还覆盖暴露的所述硬质衬底的上表面；涂布塑料基板的前驱体覆盖所述无机膜的侧壁及其上表面，且部分覆盖暴露的所述硬质衬底的上表面，固化后形成显示器件衬底；于所述显示器件衬底的上表面制备电子元件。
所属类别：	发明专利