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AZO靶材制备及其薄膜光学性能的研究
| 题名： | AZO靶材制备及其薄膜光学性能的研究 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 薛建强 郗雨林 王政红 张秀勤 杨硕 |
| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所,洛阳471023 |
| 关键词： | 氧化物透明导电薄膜材料 光学性能 结构特征 |
| 摘要： | 本文采用纳米氧化铝和纳米氧化锌粉末制备出高性能的AZO靶材，用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出AZO薄膜，利用Tauc-Lorentz+Drude色散关系拟合了薄膜在可见近红外区的透射光谱，得到了该区域的光学常数。并研究了制备条件对薄膜光学性质的影响。 |
| 会议日期： | 201207 |
| 会议举办地点： | 敦煌 |
| 会议名称： | 2012船舶材料与工程应用学术会议 |
| 出版日期： | 2012-06-30 |
| 母体文献： | 2012船舶材料与工程应用学术会议论文集 |
| 分类号： | TM242 |
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