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ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究
| 题名： | ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 吴晓飞 郗雨林 |
| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳471023 |
| 关键词： | 铟锡氧化物薄膜 性能指标 磁控溅射制备技术 工程应用 |
| 摘要： | ITO薄膜具有优良的光电性能，在平板显示器、太阳能等多个领域得到广泛应用。本文重点分析、研究了ITO薄膜的性能、应用以及磁控溅射制备技术，并对相关技术的发展趋势进行了探讨。 |
| 会议日期： | 201207 |
| 会议举办地点： | 敦煌 |
| 会议名称： | 2012船舶材料与工程应用学术会议 |
| 出版日期： | 2012-06-30 |
| 母体文献： | 2012船舶材料与工程应用学术会议论文集 |
| 分类号： | TN304.21 |
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